東北地域研究シーズデータベース

　本研究は走行する電気自動車への遠隔充電を目指した無線電力伝送に関する基盤研究です。給電対象へ高効率に大電力を伝送するために、マイクロ波放射型無線電力伝送方式に着目し、その方式の中で最も重要な送信デバ...

山形大学大学院理工学研究科　情報・エレクトロニクス専攻　 齊藤　敦

無線電力伝送マイクロ波電磁界解析

　本研究は次世代半導体デバイス用誘電体基板の比誘電率、誘電正接の低温評価に関する研究です。安価で高性能な誘電体基板はこれからの半導体産業に必要不可欠であり、様々な材料の研究がなされている。特に、量子コ...

山形大学大学院理工学研究科　情報・エレクトロニクス専攻　 齊藤　敦

誘電体基盤比誘電率誘電正接低温評価電磁界解析

製造装置、検査装置ウェハ・物性通信・５G・アンテナ・IoT 素材・材料・ウェハ加工評価・解析

　炭化ケイ素（SiC）は約200種類のポリタイプが存在し，現在（特に高耐圧領域の）パワーデバイス用半導体材料として主に使用されているのが六方晶系の4H-SiCである。立方晶SiC（3C-SiC）は4H...

山形大学大学院理工学研究科　情報・エレクトロニクス専攻　 成田　克

3C-SiC モノメチルシラン低温成長 Si基板加工

パワー・ディスクリートウェハ・物性素材・材料・ウェハ加工

立方晶SiC（3C-SiC）の表面凹凸を変化させると，SiC結晶は単結晶から多結晶になり，さらに多結晶SiC膜は光をほとんど反射しない。波長1.5µmまでの可視光～近赤外光領域の分光特性から，多結晶S...

山形大学大学院理工学研究科　情報・エレクトロニクス専攻　 成田　克

可視-近赤外光吸収テラヘルツ波遮蔽

ウェハ・物性通信・５G・アンテナ・IoT 素材・材料・ウェハ加工

　
　LEDやレーザは高効率で低消費電力，長寿命，低コストなどの利点を持つ光電子デバイスです．窒化物半導体を基盤とした高輝度青色LEDが作製され光の三原色が達成されてから，LEDの応用分野は大き...

山形大学工学部　情報・エレクトロニクス学科　 大音隆男

半導体．発光デバイスナノ構造

光半導体（イメージセンサー、光電変換）製造装置、検査装置ウェハ・物性素材・材料・ウェハ加工評価・解析その他2

現在、様々な場面でセンサを使う機会が増えてきており・ビックデータ解析やデータマイニング・人工知能を駆使して様々なサービスが始まりつつあります。その際に、重要なのは、ビックデータ解析が可能になるために必...

山形大学工学部　情報・エレクトロニクス学科　電気・電子通信コース　 原田　知親

マイコンセンサデータ解析「見える化」

アナログ・センサー・MEMS（磁気、生体、圧力など）通信・５G・アンテナ・IoT その他2

集積回路の微細化により動作速度は向上するが、リーク電流が増加してしまうため、消費電力が思うように下がらない。その問題を解決するために、リーク電流の一種であるサブスレッショルド電流を用いた極低電圧回路の...

山形大学工学部　情報・エレクトロニクス学科　電気・電子通信コース　 原田　知親

CMOS サブスレショルド動作 PWM演算回路 AD-PLL

本研究室で開発された多端子MOSFETは、Drain・Source・Gate端子のほかに、独立した複数のOutput端子で構成されているMOSFETである。また、この素子は長方形や８角形の構造をしてお...

山形大学工学部　情報・エレクトロニクス学科　電気・電子通信コース　 原田　知親

CMOS 多端子MOSFET 集積化マルチセンサ

IoTセンサをベッドに実装し、各種睡眠データを就床するだけで収集しクラウドで解析、フィードバックするIoTセンサネットワークベッドシステムを研究しています。
多種類大量の睡眠ビッグデータから、そ...

山形大学工学部　情報・エレクトロニクス学科　 横山　道央

センサ計測データ解析

アナログ・センサー・MEMS（磁気、生体、圧力など）システム（ハード・ソフト）通信・５G・アンテナ・IoT その他その他2

断熱充放電の原理を応用し、RC時定数よりも長い周期の三角波や正弦波を交流電源として用いる超低消費電力論理回路の研究を進めています。断熱的CMOS論理回路（ADCL）と名付けていますが、従来CMOS論理...

山形大学工学部　情報・エレクトロニクス学科　 横山　道央

CMOS 回路設計低消費電力

ロジックパワー・ディスクリート設計・開発

　形状記憶合金(SMA)などのスマート素材とSiテクノロジーを融合したデバイス開発を目指し、触覚提示デバイス、生体膜や血管操作用デバイス等への応用と、これらのデバイス実現に不可欠なスマート素材薄膜・厚...

山形大学理工学研究科　機械システム工学分野　 峯田貴

MEMS スマート素材膜形成形状記憶合金(SMA) リソグラフィエッチング触覚デバイス

アナログ・センサー・MEMS（磁気、生体、圧力など）ウェハ・物性設計・開発前工程

　電子ビーム（EB)リソグラフィ、Siのトレンチエッチング(RIE)、等方性プラズマエッチング、結晶異方性エッチング（ウエット)などのウエハプロセスでの一括微細加工技術を融合し、Si基板へマルチ構造...

山形大学理工学研究科　機械システム工学分野　 峯田貴

Si基板３D微細加工リソグラフィエッチング自己整合プロセス原子間力顕微鏡(AFM)プローブ

ウェハ・物性その他前工程