東北地域研究シーズデータベース

多数の半導体デバイス製造装置をクリーンルーム内に保有し、Ⅳ族系半導体（Si, Ge、SiGe, GeSn）を中心に下記テーマについてデバイス開発を推進しています。

・3次元集積回路・フレ...

東北学院大学工学部　電気電子工学科　 原　明人

薄膜トランジスタデバイス開発プロセス開発材料開発

ロジックアナログ・センサー・MEMS（磁気、生体、圧力など）素材・材料・ウェハ加工前工程