酸化亜鉛のセンサ応用
酸化亜鉛(ZnO)は,室温において励起子を利用した高効率な紫外線(UV)発光が可能な材料である。ZnOを用いたデバイスの開発を目指し,以下に取り組んでいる。
・大気圧有機金属化...
仙台高等専門学校 総合工学科 柏葉 安宏
酸化亜鉛薄膜 酸化亜鉛単結晶基板 センサ
光半導体(イメージセンサー、光電変換) ウェハ・物性 素材・材料・ウェハ加工 前工程
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