仙台高等専門学校
総合工学科
総合工学科
教授: 柏葉 安宏
酸化亜鉛のセンサ応用
酸化亜鉛薄膜，酸化亜鉛単結晶基板，センサ
光半導体（イメージセンサー、光電変換）
ウェハ・物性
素材・材料・ウェハ加工
前工程
研究シーズの特徴・独自性
●研究内容
酸化亜鉛(ZnO)は，室温において励起子を利用した高効率な紫外線(UV)発光が可能な材料である。ZnOを用いたデバイスの開発を目指し，以下に取り組んでいる。
・大気圧有機金属化学気相成長(MOCVD)法によるZnO薄膜のヘテロエピタキシャル成長。
・RFスパッタリング法を用いたZnO薄膜の作製。
・ZnO単結晶基板を用いたセンサの試作。
●特徴・独自性
・非極性ZnO薄膜の作製方法の検討
・非極性単結晶ZnO基板の利用
・溶液を用いたZnOの簡易な表面処理
酸化亜鉛(ZnO)は，室温において励起子を利用した高効率な紫外線(UV)発光が可能な材料である。ZnOを用いたデバイスの開発を目指し，以下に取り組んでいる。
・大気圧有機金属化学気相成長(MOCVD)法によるZnO薄膜のヘテロエピタキシャル成長。
・RFスパッタリング法を用いたZnO薄膜の作製。
・ZnO単結晶基板を用いたセンサの試作。
●特徴・独自性
・非極性ZnO薄膜の作製方法の検討
・非極性単結晶ZnO基板の利用
・溶液を用いたZnOの簡易な表面処理
産学連携の可能性
●表面処理を施した非極性単結晶ZnO基板を利用したショットキーバリアダイオードの開発に成功している。また，このショットキーバリアダイオードを用いて水素ガスセンサの作製に成功している。他にも単結晶ZnO基板への表面処理により光導電型UVセンサの特性改善も試みている。過酸化亜鉛で表面終端されたZnOも作製しており，これらセンサやZnOの表面処理技術に興味があればお声がけ頂きたい。