東北大学
マイクロシステム融合研究開発センター
マイクロシステム融合研究開発センター
教授: 戸津 健太郎
試作コインランドリ −MEMS・半導体試作共用設備−
MEMS
半導体
センサ
マイクロシステム
光
アナログ・センサー・MEMS（磁気、生体、圧力など）
システム（ハード・ソフト）
その他
その他2
研究シーズの特徴・独自性
4 インチ、6インチ、一部8インチのMEMSを中心とした半導体試作開発のための共用設備で、必要な装置を必要なときに時間単位でお使いいただけます。東北大学に蓄積された関連ノウハウが利用可能で、スタッフが試作を最大限支援します。東北大学西澤潤一記念研究センターの2 階スーパークリーンルームのうち、約1,200m2を主に利用しています。装置、料金については、ホームページをご覧ください。
産学連携の可能性
10年間で280以上の企業が利用しています。MEMS等のデバイスメーカーはもちろん、材料や機械部品メーカー、装置メーカーからも利用があります。各種センサや光学部品、微細金型作製等にお応えできます。
