東北大学
大学院工学研究科・工学部 ロボティクス専攻
大学院工学研究科・工学部 ロボティクス専攻
教授: 田中 秀治
MEMS・マイクロマシンと微細加工技術に関する研究
MEMS
センサ
アクチュエータ
音響共振子
圧電デバイス
マイクロエネルギー
ウェハレベルパッケージング
集積化
微細加工
アナログ・センサー・MEMS（磁気、生体、圧力など）
その他
前工程
後工程
評価・解析
その他2
研究シーズの特徴・独自性
情報機器の入出力や自動車の安全のために用いられるMEMSと呼ばれるマイクロデバイス／システムの研究を行っています。集積化センサ、圧電デバイス、高周波MEMS、過酷環境センサ、マイクロエネルギーデバイス、ウェハレベルパッケージなどの研究に実績があります。リソグラフィ、エッチング、成膜、ウェハ接合、実装、各種評価のための装置を多数揃え、研究者自身が操作して研究できる開かれた実験環境を提供しています。
産学連携の可能性
これまでに多くの企業から研究員を受け入れ、産学共同研究を行うとともに、スポット的に装置を利用頂くような支援も積極的に行っています。豊富な資料・データに基づき、随時、技術相談を受け付けています。
